Plan Optik AGは、技術に関しては構造化ウェーハの主要メーカーです。家庭用電化製品、自動車、航空宇宙、化学、医薬品などの分野では、これらのウェーハは、MEMSテクノロジーのさまざまなアプリケーションのアクティブ要素として使用される必須コンポーネントです。ガラス、ガラス-シリコン化合物、または石英のウェーハは、直径300 mmまでのサイズで入手できます。Plan Optikのウェーハは、同社が開発したMDF研磨プロセスを使用して達成される、Ångström範囲(= 1000万分の1ミリメートル)の高精度表面を提供します。Plan Optikウェーハは、アプリケーション固有の構造化と複雑な材料の組み合わせにより、最小許容誤差で利用できます。
http://www.planoptik.com/
Plan Optik AG(ブルームバーグ)
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